Wir entwickeln und produzieren Anlagen für die nachhaltige und effiziente Herstellung von Wafern. Unsere Systeme sind darauf ausgelegt, Energie- und Ressourcenverbrauch gezielt zu reduzieren, ohne Kompromisse bei Präzision und Prozessstabilität einzugehen. Durch innovative Technologien und intelligente Prozessführung unterstützen wir unsere Kunden dabei, wirtschaftlich erfolgreiche Waferproduktionen aufzubauen und gleichzeitig ökologische Verantwortung zu übernehmen.
Wafer-Größen:
Prozesse:
Vertikale Durchlaufanlage
Vertikale Rotationssprüh-Module zum Vorreinigen, Entwickeln, Ätzen und Strippen von Wafern oder Substraten. Ein integriertes SPS-Steuerungssystem ermöglicht die Einstellung von kundenspezifischen Zeit- und Durchlaufparametern.
Sprühentwicklungs- und Sprühätzanlagen
Die Anlagen der ETCHING CENTER S Gerätereihe sind manuelle Sprühentwicklungs- und Sprühätzanlagen zum Vorreinigen, Entwickeln, Ätzen und Strippen von Wafern oder Substraten.
Modulares Einzelwannensystem
Das Einzelwannensystem TG-Programm mit einem Beckenvolumen von 5 l /10 l / 20 l / 50 l und 100 l ermöglicht das individuelle Zusammenstellen von Behandlungsbecken. Ergänzendes Zubehör und Anoden ermöglichen eine zuverlässige Oberflächenbehandlung.
Vertikale Durchlaufanlage
Vertikale Rotationssprüh-Module zum Vorreinigen, Entwickeln, Ätzen und Strippen von Wafern oder Substraten. Ein integriertes SPS-Steuerungssystem ermöglicht die Einstellung von kundenspezifischen Zeit- und Durchlaufparametern.
Sprühentwicklungs- und Sprühätzanlagen
Die Anlagen der ETCHING CENTER S Gerätereihe sind manuelle Sprühentwicklungs- und Sprühätzanlagen zum Vorreinigen, Entwickeln, Ätzen und Strippen von Wafern oder Substraten.
Modulares Einzelwannensystem
Das Einzelwannensystem TG-Programm mit einem Beckenvolumen von 5 l /10 l / 20 l / 50 l und 100 l ermöglicht das individuelle Zusammenstellen von Behandlungsbecken. Ergänzendes Zubehör und Anoden ermöglichen eine zuverlässige Oberflächenbehandlung.
Wir planen, entwickeln und bauen manuell geführte oder automatisierte Anlagen individuell nach Ihrem Oberflächenprozess.
Informieren Sie sich über unsere verschiedenen Geschäftsbereiche und Anlagen.
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